CS100 Контролер масового потоку та мір потоку-Global supplier

Пек?нська економ?чна та технолог?чна зона розвитку, проспект Венчан, 8 (поштовий код: 100176)

Переваги

• Продукти CS100 розроблені на замовлення клієнта,
• Клієнт може вибрати ±15V подвійне джерело живлення або +24 одне джерело живлення за потребою;
• металеві або гумові герметики;
Розміри продукту доступні для продуктів, які відповідають загальним міжнародним стандартам SEMI, або для продуктів з стисненням.

Технічні параметри

CS100

Модель

CS100A

CS100D

Тип клапана

Часто закриті

Ніякого

Часто закриті

Ніякого

Специфікації потоку (N2)

(0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM

(0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30) SLM

Точність

±1.0% S.P. (≥35% F.S.)； ±0.35% F.S.(＜35% F.S.)

Лінійний

±0.5% F.S.

Повторення точності

±0.2% F.S.

Час відповіді

≤ 1sec

Диапазон робочого тиску

0.05～0.35MPa； Специфікація потоку ≤10SLM
0.1～0.35MPa ； 10 <Специфікація потоку≤30SLM
0.25～0.45MPa ； 30 <Специфікація потоку ≤50SLM

＜0.02 MPa

0.05～0.35MPa； Специфікація потоку ≤10SLM
0.1～0.35MPa； 10 <Специфікація потоку≤30SLM

＜0.02 MPa

Температурний коефіцієнт

Нульова точка: ≤ ± 0,05% FS / ℃; При регулюванні: ≤ ± 0,1% FS / ℃

Стійкість тиску

3MPa

10MPa

3MPa

10MPa

Пропускність

1×10^-9Pa·m³/ sec He（1×10^-8atm·cc / sec He）

герметичний матеріал

Флуорована гума

Металеві герметики

Максимальний робочий тиск

0.45MPa

Температура робочого середовища

（5～45）℃

Введіть сигнал

Моделювання:
(0～5)VDC

Номер: RS485

Ніякого

Моделювання:
(0～5)VDC

Номер: RS485

Ніякого

Вихідний сигнал

Моделювання:
(0～5)VDC

Номер: RS485

Аналоговий: (0-5) VDC

Номер: RS485

Моделювання:
(0～5)VDC

Номер: RS485

Моделювання:
(0～5)VDC

Номер: RS485

Форма джерела живлення

Тип D 9 штрих
Сонячні сполучення;