Високоточний газометр AX10FD
Використання та особливості
Контролер масового потоку (MFC) використовується для точного вимірювання та контролю масового потоку газу. Вони відіграють важливу роль у наукових дослідженнях та виробництві в промисловості напівпровідників та інтегрованих схем, спеціальних матеріалів, хімічної промисловості, промисловості, медицини, вакуумних ламп. Його типові застосування включають: електронні процеси обладнання, такі як диффузія, розширення, CVD、 окислення, плазмене гравування, розпилювання, іонне введення; А також обладнання для покриття, плавлення волокон, мікрореакційні пристрої, системи розподілу газу, капілярні вимірювання, газова хроматографія та інші аналітичні прилади.
Основні технічні показники
Діапазон вимірювання (20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM
Точність +1,5% F.S.
Лінійний +0,5 ~ 1,5% FS
Точність повторення +0,2% F.S
Час відповіді 10sec Характеристики газу: (1 ~ 4) sec
Робочий тиск 0.1 ~ 0.5MPa
стійкість до тиску 3Mpa 6Mpa 10Mpa
Температура робочого середовища 0 ~ 70 ℃
Протокол RS485 MODBUS
Аналогова потужність DC 0 ~ 5V, 4 ~ 20mA необхідно
Електричні характеристики: SLM
Життя безперервного струму +15V/24V, опційно, струмомір <50mA, контролер <200mA
Електричні підключення DB15
Протічність 1×10 SCCSHe
Матеріал підстави 316L нержавіюча сталь
Матеріал герметизації Флуоркаучук, Бутрин, Неоплен
Газовий шлях з'єднання Φ3, Φ6, Φ10, 1/8 ", 1/4 ", 3/8 "
Примітка: Масовий потікометр і заводський контролер масового потіку зазвичай калібруються азотом (N₂).
Единицею масового потоку визначається: SCCM (стандартний мл/хв); SLM (стандартний літр/хв)
Високоточний газометр AX10FD