Висока роздільна здатність 2D і 3DХПроменювальна системаFF70 CL

Висока роздільна здатність 2D і 3D для повністю автоматизованого аналізу мінімальних дефектівХПроменювальна система

Через дефекти в компонентах на чіпах, підплатах, стрічках або кінцевому продукті, оптимальне виробництво при виробництві напівпровідників необхідне за допомогою автоматизованого, високоякісного, надійного та швидкого виявлення та аналізу без пошкодження. Новий типFF70 CL XСистеми виявлення променів спеціально розроблені для оптимального автоматизованого аналізу найменших і найскладніших дефектів цих зразків. Результати: Випробування та виявлення дуже точні та повторювані з відмінною продуктивністю.

Л Покращений моніторинг якості для перевірки більшої кількості місць з більш високою роздільною здатністю для виявлення можливих пропущених збоїв

Л Значительне зниження витрат та підвищення продуктивності за допомогою кращого покриття випробувань

Л Надійна та повторювана перевірка відповідності параметрів процесу та дефектів в будь-який час

Л Це інноваційне рішення для автоматизованого аналізу є простим у використанні та оптимізує операційні витрати

Системні можливості

FF70 CLмає велику площу виявлення, тобто510 х 610 ммнадзвичайно тонка глибина виявлення, тобто менша ніж150 нмІдеально підходить для автоматичного аналізу випускних точок зварювання та заповнених отворів в тривимірних інтегрованих схемах, чіпах та чіпах.

Інноваційний вакуумний механізм операційної системи дозволяє безпечно і точно зберігати зразок під час аналізу і компенсувати вплив викривлення зразка.

FF70 CLПостачає двовимірні (зверху вниз) високопродуктивні плоскі детектори та тривимірні (КЛ-Комп'ютерна шарова фотографія) автоматично аналізується за допомогою підсилювача зображення високої роздільної здатності для нахильного обертання в спеціальних оперативних компонентах.

Нанофокус останнього поколінняХПроменні труби можуть генерувати двовимірні та тривимірні зображення, які можуть відображати та вимірювати мінімальні порожнини та функції, що дозволяєFF70 CLМожливість аналізувати найскладніші передові напівпровідникові проблеми.

Графічний користувацький інтерфейс (Графічний інтерфейсПростий у використанні та інтуїтивно зрозумілий, що дозволяє користувачам легко створювати автоматизовані, багатоцінкові та багатофункціональні аналітичні програми виявлення.

Автоматичні випробування фонової калібрування всіх аспектів системи безперервного моніторингу забезпечують повторюваність вимірювань, що змінюється з часом.

Список властивостей системи:

Л Автоматизований аналіз високої пропускної здатності з хорошою повторюваністю та надійними результатами

Л Просте створення автоматизованих, багатотокових та багатофункціональних аналітичних детекторів, що дозволяє швидко змінюватися між зразками та вимірювальними завданнями

Л Постійний фоновий моніторинг та оптимізація для забезпечення повторюваності та точності вимірювань

Технічні дані