Інтеллектуальний масовий потікометр Контролер потоку невеликого обсягу Масовий потікометр теплового газу
Використання та особливості
Контролер масового потоку (MFC) використовується для точного вимірювання та контролю масового потоку газу. Вони відіграють важливу роль у наукових дослідженнях та виробництві в промисловості напівпровідників та інтегрованих схем, спеціальних матеріалів, хімічної промисловості, промисловості, медицини, вакуумних ламп. Його типові застосування включають: електронні процеси обладнання, такі як диффузія, розширення, CVD、 окислення, плазмене гравування, розпилювання, іонне введення; А також обладнання для покриття, плавлення волокон, мікрореакційні пристрої, системи розподілу газу, капілярні вимірювання, газова хроматографія та інші аналітичні прилади.
Основні технічні показники
Діапазон вимірювання (20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM
Точність +1,5% F.S.
Лінійний +0,5 ~ 1,5% FS
Точність повторення +0,2% F.S
Час відповіді 10sec Характеристики газу: (1 ~ 4) sec
Робочий тиск 0.1 ~ 0.5MPa
стійкість до тиску 3Mpa 6Mpa 10Mpa
Температура робочого середовища 0 ~ 70 ℃
Протокол RS485 MODBUS
Аналогова потужність DC 0 ~ 5V, 4 ~ 20mA необхідно
Електричні характеристики: SLM
Життя безперервного струму +15V/24V, опційно, струмомір <50mA, контролер <200mA
Електричні підключення DB15
Протічність 1×10 SCCSHe
Матеріал підстави 316L нержавіюча сталь
Матеріал герметизації Флуоркаучук, Бутрин, Неоплен
Газовий шлях з'єднання Φ3, Φ6, Φ10, 1/8 ", 1/4 ", 3/8 "
Примітка: Масовий потікометр і заводський контролер масового потіку зазвичай калібруються азотом (N₂).
Единицею масового потоку визначається: SCCM (стандартний мл/хв); SLM (стандартний літр/хв)
Інтеллектуальний масовий потікометр Контролер потоку невеликого обсягу Масовий потікометр теплового газу