Модель

K1000A

K1000B

K1000C

Специфікації потоку (конвертація потоку N2)

Bin 1: 10 SCCM ~30SCCM

Будинок 2: 30 SCCM ~ 100SCCM

Bin 6: 3SLM ~10SLM

60SLM 、100SLM、

200SLM、300SLM、

Bin 3: 100SCCM~300SCCM

Bin 7: 10SLM~ 30SLM

Bin 8: 30 SLM ~50SLM

150SLM、200SLM

400SLM、500SLM

600SLM, 1000SLM (N2, H2, повітря тощо)

Bin 4: 300 SCCM ~1SLM

Bin 5: 1SLM ~3SLM

Тип клапана

N/O: зазвичай відкритий, N/C: зазвичай закритий

N/C: зазвичай закритий

Диапазон контролю потоку

2%～100%F.S.

Точність

100%～25%：±1.0% of S.P.，
25%～2%：±0.25%F.S.
(гарантована точність від 15 до 35°C)

± 1% F.S. (гарантований діапазон точності 15 ~ 35 ℃)

± 2% F.S. (гарантований діапазон точності 15 ~ 35 ℃)

Температура робочого середовища

5～50℃

5～45℃

Час відповіді

≦1sec

≦3sec

Лінійний

±0.5%F.S.

Повторення точності

±0.2%F.S.

Диапазон робочого тиску

N/O100 ~ 300KPa (3SLM ~ 10SLM)

50-300кПа

N/O150 ~ 300KPa (11SLM ~ 30SLM)

200～300KPa

(Ар: 100-300 кПа)

N/C100 ~ 300KPa (3SLM ~ 30SLM)

（Ar: 250～450KPa）

100-300кПа

150-300кПа

300～450kPa (H2：150～300kPa)

（Ar 200～3500KPa）

Температурний коефіцієнт

Zero:±0.1%F.S./℃ Span: ±0.1%F.S./℃

Максимальний робочий тиск

400KPa（Ar:500KPa）

700KPa

Стійкість тиску

1MPa

Пропускність

Метальні герметики: 1 × 10^－11Pa・m³/sec He (1×10^－10atm・cc/sec He)

Гумові кольця: 1 × 10^-7Pa・m³/sec He (1×10^－6atm・cc/sec He)

Гумові кольця: 1 × 10^－7Pa・m³/sec He (1×10^－6atm・cc/sec He)

герметичний матеріал

металеві герметики; фторована гума; неопрен

фторована гума; неопрен

Форма зв'язку

Аналоговий: 0-5V DC Цифровий: RS485, DeviceNet, EtherCAT

Аналоговий: 0-5V DC Цифровий: RS485, DeviceNet,

живлення

Аналоговий / цифровий: +15VDC 50mA, -15VDC 200mA; DeviceNet：+11~+24VDC，5.5VA(5.5W)

Стандартні форми сполучення

VCR 1/4 з'єднанням, 1/4 з'єднанням, 1.5'' W-Seal, 1.125'' W-Seal, 1.125'' C-Seal

VCR 3/8 сонячний з'єднання, подвійний комплект 3/8 сонячний з'єднання

VCR 1/2 сонячний з'єднання, подвійна карта 1/2 сонячний з'єднання

вага

1.0kg

3.0kg

3.7kg