Мікрогазометр XR-F001 розроблений спеціально для вимірювання та управління процесами різних видів газів з невеликим потоком. Ця серія датчиків виготовляється за допомогою передових мікроелектромеханічних систем (MEMS) для датчиків потоку, які підходять для всіх видів чистих газів. Унікальна технологія упаковки дозволяє використовувати його для всіх типів труб з низькою вартістю, легкістю встановлення, без потреби в компенсації температурного тиску, і замінює традиційні потокометри з об'ємним або диференційним тиском.