Система OTL-PECVD-1200PECVD, що складається з вакуумної трубної печі OTL1200, кварцевої вакуумної камери, радіочастотного джерела живлення, системи подачі газу GX, системи насосу газу, систем вимірювання вакууму.

Основні особливості:

Перетворення газу в кварцевій вакуумній камері в іонний стан за допомогою радіочастотного джерела живлення.

PECVD має меншу температуру, ніж звичайний CVD, необхідний для відкладання хімічного газу.

3, можна контролювати розмір напруги осадженої плівки за допомогою частоти радіочастотного джерела живлення.

4, PECVD більш висока швидкість відкладання хімічного газу, ніж звичайний CVD, хороша рівномірність, висока послідовність та стабільність.

Широко застосовується для: зростання різних тонких плівок, таких як: SiOx, SiNx, SiOxNy та анотипний кремній (a-Si: H) тощо.

Система OTL-PECVD-1200 PECVD використовує шведську Kanthal-резисторну дроту як нагрівальний елемент, використовує двошарову конструкцію корпусу та 30 програмних термометрів, переміщення фази, керування кремнієм, печ використовує полікристальні волокна з окису алюмінію, обидва кінці труби печі можуть бути герметизовані фланцем з нержавіючої сталі, фланцем з нержавіючої сталі встановлені повітряні роти, клапани та лічильники тиску, вакуум при помпуванні може досягти 10-3 Па, має баланс температурного поля, низьку температуру поверхні, швидкість підйому температури, енерг

(3) баланс опору, гарний баланс температурного поля

(4), нагрівальний елемент: шведський Kanthal A1 імпортний дрот опору (дрот опору може бути обіцяний 2 роки гарантії)

Порожнє відкриття автоматично відключається при перетоку або витоку

Ця печ оснащена інтерфейсом зв'язку та програмним забезпеченням, може контролювати різні параметри печі безпосередньо через комп'ютер, і може спостерігати за значеннями температури PV та SV на печі та роботою приладів з комп'ютера, фактична крива потепління печі буде нарисована в режимі реального часу та може зберегти дані про температуру кожного моменту, в будь-який час можна налаштувати рівень вакууму.

2) Використання японських технологій.

(3) Відстань і відстань від дроту опору в печі всі розташовані за найкращою японською термотехнічною технологією, через програмне забезпечення для термотехнічної роботи, щоб моделювати температурне поле

(4) 4 тижні нагрівання, більш збалансоване температурне поле

(Всі електротехніки, сертифіковані UL)