Диапазон спектру від FUV до NIR: 190-2100 нм

UVISEL PlusЕліптичний поляризаційний спектрометрНадає оптимізоване поєднання модульності та продуктивності для характеризування тонкої плівки, поверхні та інтерфейсу.

UVISEL Plus як модельКласична еліпсична машина з точністю, чутливістю та стабільністюВін використовує технологію фазової модуляції PEM, яка забезпечує кращу стабільність та співвідношення сигналу та шуму, ніж технологія механічних обертаючих компонентів.Спектр діапазону від 190 нм до 2100 нм.

UVISEL Plus інтегрує новий FastAcqTMтехнології швидкого збору,Випробування зразків високої роздільної здатності (190-2100 нм) за 3 хвилиниКалібрування займає всього кілька хвилин. На основі нових електронних пристроїв, обробки даних та високошвидкісних моноклометрів технологія FastAcq забезпечує користувачам високу роздільну здатність та швидкий збор даних. FastAcq розроблений для характерізації тонкої плівки,Технологія подвійної модуляціїВи можете бути впевнені, що отримаєте відмінні результати тестування.

Технологія фазової модуляції характеризується модуляцією високої частоти 50 кГц без рухомих частин в процесі збору сигналу:

• Випробувати повний діапазон еліпсичних кутів, Ψ (0-90)，Δ (0-360)
• Відмінне співвідношення сигналу та шуму від FUV до NIR
• Швидкість збору даних до 50 мілісекунд на точку ідеально підходить для досліджень динаміки та онлайн-вимірювань

Порівняно з прийняттямТрадиційний еліптичний полярізаційний спектрометр для модуляції ротаційних елементів， Режим фазової модуляції UVISEL PlusБільша чутливість та точність при характерізації пленокВін не тільки виявляє полярні плівки або інтерфейси, які не можуть бути спостережені іншими еліпсометрами, але й характеризує плівки товщиною 50 мкм.

У випробуванні є спинний рефлексТестування прозорих зразків є простим і точним.Не потрібно драптати спину.

UVISEL Plus також розроблений з різноманітними аксесуарами та додатковими функціями, що дозволяють клієнтам вибрати відповідну конфігурацію відповідно до потреб застосування та бюджету. Наприклад, мікрофотоплями використовуються зразки візерунків, автоматичні перетворювачі кутів, автоматичні візерунки тощо.

UVISEL Plus має модульну конструкцію для гнучкого розширення. Можна використовувати офлайнСтоличні вимірюванняТакож може бути приєднано до покриття обладнання для онлайн-моніторингу.

UVISEL Plus може вибрати інтерфейс роботи відповідно до звички.DeltaPsi2функції моделювання та адаптації; Іншим є повністю автоматизований інтерфейс тестування зразків, орієнтований на користувача Auto-Soft, який інтуїтивно зрозумілий і легкий для непрофесіоналів.

UVISEL Plus використовує технологію FastAcq для досліджень та обробки матеріалів, дисплеїв з плоскими панелями, мікроелектроніки та фотоелектрикиУніверсальний спектральний еліпсометр.

UVISEL PlusЦе ідеальний інструмент для досліджень матеріалознавства.